北方华创收购芯源微，半导体整合加速

北方华创拟收购芯源微9.49%股份及竞买中科天盛持有的8.41%股份，交易价格平价，旨在完善半导体设备平台布局。芯源微作为Track设备龙头，北方华创入主后有望加速国产替代，并带动行业并购重组趋势。中科飞测被列为前道设备受益标的之一。