中科飞测先进制程设备需求井喷！毛利率攀升+新产品放量，国产检测龙头加速崛起

中科飞测2024年及2025年一季度业绩显示检测设备收入占比高，套刻精度量测设备和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备增长显著，前道制程客户占比超50%且先进制程需求强劲。2025年Q1毛利率提升因高毛利的前道先进制程产品收入占比增加。新产品进展顺利，明场纳米缺陷检测设备小批量出货，暗场设备订单快速增长，光学关键尺寸量测设备实现销售。研发支出因产品线扩展和技术迭代增加，但未来增速将放缓。公司强调在国产化率低的量检测设备领域占据领先地位，计划推出电子束设备填补国产空白，并对全年收入和订单增长持乐观预期，盈利水平有望改善。