中科飞测X射线量测技术突破：半导体检测精准度迎革命性提升

中科飞测公布了一项应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统专利。该系统结合CDSAXS和XRR两种量测技术，通过共享先验知识显著提升了HAR结构尺寸的测量准确性，解决了传统量测模型计算精度不足的问题，为半导体制造工艺控制提供了更高效的技术方案。