中科飞测谈光掩模检测赛道及技术现状

中科飞测相关人员表示，光掩模缺陷检测领域国内仅两三家非上市公司，赛道稀缺；公司目前聚焦晶圆量检测设备，光掩模检测处于早期研发阶段，因该领域市场份额仅占半导体量检测设备的百分之十几；中科飞测在晶圆检测领域与国际领先企业相差一到两代技术水平，光掩模检测设备研发投入以亿元为单位；公司服务先进制程的业务占比正提升，下游不同制程客户均有扩产需求。