中科飞测首台晶圆平坦度设备出货HBM客户端

11月22日，中科飞测首台晶圆平坦度测量设备GINKGOIFM-P300出货HBM客户端。
该设备的推出标志着我国在该领域实现重大突破，打破国外厂商长期垄断，突破国内设备对超高翘曲晶圆、低反射率晶圆的量测限制，
同时支持键合后晶圆、化合物半导体衬底SiC/GaAs的全参数检测。