中科飞测申请晶圆缺陷检测专利

中科飞测申请了一项名为'晶圆缺陷检测装置及方法'的专利，公开号CN121075943A。

该专利通过配置特定角度的大、小角度探测通道与特定方向的照明光束协同工作，实现对球形、类球形、扁平污染物和损伤缺陷等全类型的高灵敏度检测，避免漏检。