珠海：重点发展8英寸、12英寸硅片等新一代化合物半导体衬底材料及外延片

珠海市工业和信息化局公开征求《珠海市电子化学品产业发展三年行动方案2025—2027年征求意见稿》意见，强调重点发展8英寸、12英寸硅片及新一代化合物半导体材料如碳化硅、氮化镓等，并前瞻布局第四代半导体材料。此外，还提到重点发展KrF、ArF移项光掩模版等关键技术产品。