【市场】华润微回复投资者:臭氧在半导体行业应用于薄膜沉积等工艺
2026-06-26
华润微在投资者互动平台回复称,臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。
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