路维光电250nm光罩量产 国产替代加速

光罩作为半导体制造核心器件，其技术发展直接影响芯片性能。路维光电实现了250nm制程节点半导体掩膜版量产，掌握180nm/150nm节点核心技术，产品应用于国内多家晶圆厂商。国内光罩产业近年来加速发展，但高端领域仍被日本信越化学、豪雅等企业主导。路维光电等企业在技术精度和工艺能力上持续突破，推动国产替代进程。