路维光电研发新技术 满足新凯来掩膜版需求
2025-09-09
路维光电年内获得200余家机构调研,今年上半年公司完成研发大尺寸IC掩膜版套刻精度控制技术,开发7寸及以上高定位精度IC掩膜版,以更好地满足下游厂商如新凯来等设备厂商的掩膜版需求。
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