路维光电半年报增长 项目进展顺利技术突破

路维光电2025年上半年营收5.44亿元，同比增长37.48%，归母净利润1.06亿元，同比增长29.13%，半导体掩膜版与平板显示掩膜版业务双轮驱动增长。公司投资建设的路芯半导体掩膜版项目进展顺利，制程节点布局居国内厂商前列，一期覆盖130—40nm制程节点。报告期内，一期项目电子束光刻机等主要设备已陆续到厂并有序投入生产，90nm及以上半导体掩膜版已向客户送样并获部分客户验证通过，2025年下半年将启动40nm半导体掩膜版试生产。此外，公司作为国内掩膜版行业领先企业，产品获晶方科技、华天科技、通富富电等主流客户认可，技术节点正向150nm/130nm及以下持续突破。