晶升股份12英寸碳化硅单晶炉发货，助力国产化突破

晶升股份自主研发的12英寸碳化硅单晶炉完成小批量发货，正式交付客户投入应用。

该设备通过高纯环境构建和全流程自动化热场输运系统，提升了生产效率和工艺一致性，同时利用温度—应力场协同调控技术抑制晶体缺陷，为12英寸碳化硅在先进封装及AR眼镜等新兴领域的应用奠定国产化材料根基。此次发货标志着国产半导体装备在大尺寸碳化硅长晶领域迈出关键一步。

公司表示将持续聚焦核心技术创新，为产业链高质量发展提供更具竞争力的装备解决方案。