【经营】大尺寸SiC涂层设备完成交付,助力国产化进程
2026-08-25
晶升股份自主研发的大尺寸CVD SiC涂层成套设备已完成整机检验并正式交付客户。 这标志着公司在大尺寸碳化硅涂层工艺装备领域取得了重要进展。该交付为半导体热场关键部件的国产化制造提供了有力支撑。
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