光刻机产业链，最正宗的9家公司

茂莱光学（688502）在光刻机产业链中扮演重要角色，其28nm DUV光刻机物镜组面形精度达到国际领先的0.5nm RMS，国内市占率达62%，是上海微电子的核心供应商，并与ASML有二线合作关系。茂莱光学突破了物镜组超精密光学加工技术，填补了国内空白，具有重要的国产替代价值。