【经营】日联科技AX9500高端半导体3D检测装备获江苏省首台套认定
2026-08-17
近日江苏省工信厅发布2026年度江苏省“三首两新”认定产品公示,日联科技旗下AX9500近纳米级微焦点X射线3D智能工业检测装备成功获得首台(套)装备认定。
该装备聚焦Chiplet堆叠、混合键合、晶圆级先进封装等半导体核心场景,融合日联自研开放式微焦点射线源与AI+CT智能检测技术,可精准识别晶圆凸块桥接、芯片冷焊等关键缺陷,填补高端半导体3D无损检测国产装备的技术缺口。
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该装备聚焦Chiplet堆叠、混合键合、晶圆级先进封装等半导体核心场景,融合日联自研开放式微焦点射线源与AI+CT智能检测技术,可精准识别晶圆凸块桥接、芯片冷焊等关键缺陷,填补高端半导体3D无损检测国产装备的技术缺口。
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