瑞联新材布局EUV光刻胶单体 已有ArF量产

瑞联新材在投资者互动平台透露，其半导体光刻胶单体涵盖ArF、KrF及EUV光刻胶单体，目前已量产ArF系列。国内EUV光刻胶领域近期有多项突破，包括首个标准立项、北大团队技术进展及清华团队新型光刻胶开发等，行业发展积极。