【经营】皖仪科技:氦质谱检漏仪可用于半导体封装气密性检测
2026-06-29
皖仪科技在互动平台回复投资者称,其氦质谱检漏仪可精准检测半导体器件封装气密性,适用于真空封装、晶圆级封装等核心工艺,同时二氧化硫分析仪、氨气分析仪等产品可用于半导体晶圆厂洁净车间AMC在线监测。
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