国产光刻机突破助力芯片板块复苏

芯片板块受国产电子束光刻机'羲之'突破及AI需求驱动影响表现活跃，科创芯片ETF涨超2%。该光刻机精度达0.6nm，专攻量子芯片研发，国产替代进程加速。券商研报指出，AI时代晶圆厂先进制程需求增长明显，半导体行业维持复苏态势，建议关注国产设备与材料替代机遇。