先锋精科：无锡至辰主要应用于刻蚀机零部件的APS涂层服务

投资者询问先锋精科收购的无锡至辰公司是否涉及光刻机业务，公司回应称无锡至辰主营业务为应用于泛半导体领域的等离子熔射APS涂层服务，适用于有耐腐蚀性能需求的半导体设备，目前主要应用于刻蚀机零部件。