芯碁微装飙涨12%！资金抢筹1.84亿，光刻机概念再成焦点？

芯碁微装3月27日股价上涨12.29%，大幅跑赢大盘。资金面显示当日暗盘流入1.84亿，AI监测显示近5日机构活跃度3日强势，短期关注度高。基本面方面，最新财报扣非净利润1.48亿，同比增54.94%，业绩向好。板块上属于专用设备行业，当前市场热点光刻胶、光刻机等题材或形成联动，全市场人气排名162位，短线资金与题材热度双高。