国产电子束光刻机突破利好芯碁微装等光刻设备商

全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”完成研发并进入测试，精度达0.6nm，专攻量子芯片和新型半导体研发。同时，我国自主研发的PL-SR系列纳米压印设备交付，第三代半导体在氮化镓/碳化硅集成领域取得突破。芯碁微装作为光刻设备厂商，具备直写光刻技术，将受益于国产设备替代进程加速、半导体设备需求提升和技术突破带来的产业链发展机遇。