国产电子束光刻机突破推动半导体设备发展

近日，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”完成应用测试，精度达0.6nm，专攻量子芯片与半导体研发，推动国产设备技术突破。券商研报指出AI时代先进制程需求增长，建议关注国产半导体设备国产替代机遇。京仪装备作为国内半导体设备厂商，可能受益于行业技术进步与政策支持。