龙图光罩90nm掩模版量产 高端制程再突破

龙图光罩宣布珠海项目投产，90nm节点掩模版实现量产，65nm产品开始送样验证。公司KrF—PSM和ArF—PSM产品已通过部分客户测试，更高制程产品在某全球领先晶圆代工厂完成流片验证，满足客户需求。公司技术能力从130nm提升至65nm，并布局40nm设备，产品覆盖成熟及特色工艺制程。