龙图光罩珠海项目投产 PSM产品进展显著

2025年上半年，龙图光罩珠海募投项目顺利投产，第三代掩模板PSM产品取得显著进展。其中KrF—PSM和ArF—PSM陆续送往部分客户测试验证，90nm节点产品已完成从研发到量产的跨越，65nm产品开始送样验证，40nm生产设备布局已完成。该项目年规划产能1.8万片，预计达产后产值5.4亿元，珠海公司二季度已开始小规模量产，预计2025年下半年将逐步放量。