光罩国产化:五年变了天地
2025-01-26
自2020年以来,中国大陆光罩厂在半导体产业链国产化进程中取得了显著进展。龙图光罩作为“三兄弟”之一,从0.13微米到14纳米的工艺能力提升显著。国内光罩厂数量增加,技术进步明显,部分厂商已具备7/14纳米光刻工艺用光罩生产能力。尽管仍依赖进口设备和基板材料,但国产化进程正在加速推进。
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