拉普拉斯获半导体加工设备相关发明专利授权

拉普拉斯于2025年11月7日获得导电载具及半导体加工设备发明专利授权，该专利可提升射频电场分布均匀性及镀膜效果。今年以来公司新获专利授权151个，同比增加906.67%；上半年研发投入1.61亿元，同比减少6.51%。公司目前拥有专利信息712条等资产线索。