拉普拉斯取得半导体设备新专利
2025-12-09
拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司取得一项名为“晶片承载机构及外延装置”的专利,授权公告号CN223633517U。该专利属于CVD设备技术领域,旨在提升晶片反应时的稳定性。
外延装置包括上述晶片承载机构,企业专利信息累计达77条。
外延装置包括上述晶片承载机构,企业专利信息累计达77条。
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