拉普拉斯取得关键专利,解决光伏设备飘片难题
2025-12-09
拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得一项名为“反应炉以及加工设备”的专利,授权公告号为CN223633457U。
该专利涉及半导体或光伏材料加工领域,旨在解决水平管式等离子体增强化学气相沉积设备在抽取气体时容易出现的飘片技术问题。通过从舟结构的上方和/或下方抽取反应腔内的气体,可以减少由于气流运动导致片状材料飘片的情况出现。
该专利涉及半导体或光伏材料加工领域,旨在解决水平管式等离子体增强化学气相沉积设备在抽取气体时容易出现的飘片技术问题。通过从舟结构的上方和/或下方抽取反应腔内的气体,可以减少由于气流运动导致片状材料飘片的情况出现。
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