【经营】恒运昌披露调研公告展示业务进展

恒运昌于2026年3月11日披露接待机构调研公告，公司定位为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司。核心产品等离子体射频电源系统应用于半导体薄膜沉积、刻蚀等环节及光伏、显示面板等工业场景，已推出三代产品并打破海外垄断，最新Cedar系列面向更先进制程处于验证阶段。

公司研发投入较高，研发费用率及研发人员占比保持高位，并持续迭代产品、启动其他核心部件研发，实现上游元器件国产化应用，确定全国产化方案。

客户方面，与拓荆科技、中微公司等国产半导体设备龙头保持稳定合作，成为头部设备商战略级供应商，客户结构多元化。

为应对产能瓶颈，计划在沈阳新建半导体射频电源产业化中心、在深圳扩建智能化生产运营基地，以提升效率与规模。