【经营】恒运昌建立“基石技术+产品化支撑技术”技术体系
2026-08-05
恒运昌在接受调研时表示,公司已建立“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系,以技术发展和行业需求为双导向,从测量、控制及架构构建3大底层通用基石技术,并针对半导体设备先进制程的应用需求,发展出8大产品化支撑技术。
公司突破了高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题,掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等关键技术。截至2025年年底,公司已授权专利共296项,其中发明专利123项,累计申请专利490项。
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公司突破了高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题,掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等关键技术。截至2025年年底,公司已授权专利共296项,其中发明专利123项,累计申请专利490项。
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