国产EUV光刻胶迎进展 中芯国际供应链添利好

2025-10-27
中
中芯国际
正面增持
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我国首个EUV光刻胶标准拟立项，解决国产材料验证周期长问题；国内近期高端光刻胶技术突破多，如北大团队解析光刻胶微观结构指导产业化，清华团队开发新型EUV光刻胶；南大光电作为国内唯一ArF胶量产企业，客户覆盖中芯国际等头部晶圆厂
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