海立股份成光刻机冷却系统供应商，资金热捧板块持续走强

海立股份作为光刻机冷却系统供应商被列入光刻机概念股，受益于板块整体活跃及技术突破消息刺激。近期光刻机板块累计上涨5.09%，主力资金净买入4.59亿元，海立股份获大额增持。消息面包括新凯来发布15款半导体设备、中科院研发DUV光源系统，形成国产光刻机技术突破链，推动板块估值修复与国产替代预期。