海立股份子公司海立特冷传来重大突破，其为上海微电子封装光刻机独家供应高精度冷却系统，温控精度达±0.01℃，成功打破日本荏原垄断。双方合作已从零部件升级至系统级联合开发，未来有望延伸至前道光刻机热管理配套。此外，公司液冷产品已配套英伟达AI算力机房。