【经营】海立股份子公司独家供应光刻机高精度冷却系统,液冷产品已配套英伟达
2026-06-26
海立股份子公司海立特冷为上海微电子封装光刻机独家供应高精度冷却系统,温控精度达±0.01℃,成功打破日本荏原垄断。双方合作已从零部件升级至系统级联合开发,未来有望延伸至前道光刻机热管理配套。此外,公司液冷产品已配套英伟达AI算力机房。
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