晶合集成获光学校正专利:芯片制造效率再提速,技术壁垒又加码?
2025-05-17
晶合集成申请了名为‘一种光学临近校正方法及计算机可读存储介质’的专利,旨在通过优化半导体制造中的光学临近校正流程,减少迭代次数并提升效率。该专利通过筛选存在缺陷的图形重新校正,统一修正方式以降低边缘误差。晶合集成成立于2015年,注册资本超20亿,拥有1137项专利,业务聚焦半导体领域。
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