晶合集成获专利 今年授权量同比增41.2%
2025-11-14
2025年11月14日,晶合集成获得“一种气体喷淋头及化学气相沉积装置”实用新型专利授权,该专利可提升膜厚均匀性与生产效率。今年以来公司新获专利授权329个,同比增41.2%;上半年研发投入6.95亿元,同比增13.13%
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